月: 2025年5月
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4H-SiCウエハの加工研磨の最適化(4)をアップロードしました。
高価な4H-SiCウエハの加工研磨について、簡単なモデルを用いて定性的な議論及び考察を連載で行っています。ウエハの4段工程での全加工研磨時間について考察しました。ウエハの加工研磨工程の最適化に興味を持… 続きを読む →
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4H-SiCウエハの加工研磨の最適化 (4)
〜 4段加工研磨の最適解 〜4-1. はじめに 前回の連載の(3)では、3段プロセスの最適条件について解析的な解を求めました。2段研磨より3段研磨の方が速くなる条件などを考察しました。今回は4段の加工研磨プロセスについて同様の考… 続きを読む →
