月: 2023年8月
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SiCのフランク型積層欠陥連載(2)をアップロードしました。
4H-SiCの基板やエピ層中にはフランク型積層欠陥と呼ばれている格子欠陥が含まれていることがあります。この積層欠陥がどういう欠陥なのかをこの連載では考察したいと思いますが、その前にショックレー型積層欠… 続きを読む →
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SiCのフランク型積層欠陥 (2)
〜 ショックレー型積層欠陥の記述について 〜はじめに この連載記事は、SiCの格子欠陥の解析評価や4H-SiCの結晶構造に興味を持つ人を対象にして書いています。少し詳細な内容を、冗長な文章で記述しています。 前回の文章では、4H-SiCの基底面… 続きを読む →
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SiCのフランク型積層欠陥連載(1)をアップロードしました。
4H-SiCの基板やエピ層中にはフランク型積層欠陥や、バーシェイプ欠陥と呼ばれている欠陥を含んでいる場合があります。これらの格子欠陥は電力素子の歩留まりに影響を与えます。格子欠陥密度の低減はSiCテク… 続きを読む →
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SiCのフランク型積層欠陥 (1)
〜 SiCの掟 〜4H-SiCのフランク型部分転位、フランク型積層欠陥についての考察への導入 この連載記事は、SiCの格子欠陥の解析評価に興味を持つ人を対象にして書いています。4H-SiCのウエハを放射光X線トポグラフ… 続きを読む →
