アイシーソルーションズ, LLP

4H-SiCの基板やエピ層中にはフランク型積層欠陥と呼ばれている格子欠陥が含まれていることがあります。この積層欠陥がどういう欠陥なのかをこの連載では考察したいと思いますが、その前にショックレー型積層欠陥はどういう格子欠陥なのかをこの連載(2)で考察します。興味がある人は目を通していただくと幸甚です。