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コラム 解説

4H-SiCウエハの加工研磨の最適化(4)をアップロードしました。

高価な4H-SiCウエハの加工研磨について、簡単なモデルを用いて定性的な議論及び考察を連載で行っています。ウエハの4段工程での全加工研磨時間について考察しました。ウエハの加工研磨工程の最適化に興味を持つ人向けの内容です。

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