高価な4H-SiCウエハの加工研磨について、簡単なモデルを用いて考察しています。今回は5段工程について考察しました。ウエハの加工研磨工程の運営に興味を持つ人向けの内容です。
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高価な4H-SiCウエハの加工研磨について、簡単なモデルを用いて考察しています。今回は5段工程について考察しました。ウエハの加工研磨工程の運営に興味を持つ人向けの内容です。