アイシーソルーションズ, LLP

高価な4H-SiCウエハの加工研磨について、簡単なモデルを用いて考察しています。今回は加工変質層の厚みの測定法について考察しました。加工研磨に伴って生成される加工変質層の厚みを正確に計測するにはどうするかを考察しました。ウエハの加工研磨工程の運営に興味を持つ人向けの内容です。4H-SiCウエハの加工研磨についての考察の連載は今回が最終回です。