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4H-SiCウェハに及ぼす転位の効果の記事をアップ

4H-SiCウエハは現在でも、ある程度の密度の転位を含んでいます。このため、転位の無いSiウエハとはちょっと異なる性質を示します。4H-SiCのウエハに及ぼす転位の影響を簡単にまとめました。その1その2に分けて紹介します。興味のある方はご覧ください。

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