記事
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「キロワット」と「キロワット時」 (1)
〜 これらの単位で示される量について 〜地球温暖化に伴う発電施設の脱炭素化に関する記事、夏の電力不足に関する記事、世界的化石燃料の高騰に伴う電力料金の高騰に関する記事など、昨今、ニュースや新聞等で電力に関する記事がよく現れます。 これらの… 続きを読む →
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放射光トポグラフ法の利用 (10)
〜 潜傷の観察 〜この連載記事は、半導体中の格子欠陥の解析評価に興味を持つ人を対象に連載記事として書いています。放射光X線トポグラフ法で4H-SiCの格子欠陥がどのように観察されるかについての解説は、今回が最後の連載記… 続きを読む →
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放射光トポグラフ法の利用 (9)
〜 フランク型積層欠陥について 〜この連載記事は、半導体中の格子欠陥の解析評価に興味を持つ人を対象に連載記事として書いています。前回は、4H-SiC中のショックレー型部分転位と、ショックレー型積層欠陥のコントラストについて記述し、ショ… 続きを読む →
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放射光トポグラフ法の利用 (8)
〜 積層欠陥のコントラストルールとステルスな積層欠陥 〜この連載記事は、半導体の格子欠陥の解析評価に興味を持つ人を対象に連載記事として書いています。前回から引き続き、4H-SiC中のショックレー型部分転位と、ショックレー型積層欠陥のコントラストについて説明… 続きを読む →
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放射光トポグラフ法の利用 (7)
〜 ショックレー型積層欠陥、積層欠陥の変位ベクトルR 〜この連載記事は、半導体中の格子欠陥の解析評価に興味を持つ人を対象にして書いています。前回まで、放射光ベルクバレットX線トポグラフ法で、4H-SiCウエハ中の基底面転位が、どのようなコントラストを示すか… 続きを読む →
