放射光トポグラフ法の連載((10)をアップロードしました。かつていろいろと議論されたSiCエピウエハ表面の潜傷の問題について放射光トポグラフ法で観察した例について解説しました。放射光トポグラフ法につい… 続きを読む →

放射光トポグラフ法の連載(9)をアップロードしました。フランク型積層欠陥、フランク型部分転位のコントラスト、見え方について解説しました。 続きを読む →

放射光トポグラフ法(8)の解説記事をアップロードしました。結晶性材料を産業化する際に格子欠陥が問題になる時に使える技術かもしれません。 続きを読む →

放射光トポグラフ法の連載(7)を新たにアップロードしました。ショックレー型部分転位、ショックレー型積層欠陥のコントラストについての説明を行いました。SiCの研究等で放射光を利用する際には参考になるかも… 続きを読む →

放射光トポグラフ法の連載(6)を新たにアップロードしました。今回は、SiCの貫通転位のコントラストについての解説です。SiCの研究等で放射光を利用する際には参考になるかもしれません。 続きを読む →