アイシーソルーションズ, LLP

放射光トポグラフ法の連載((10)をアップロードしました。かつていろいろと議論されたSiCエピウエハ表面の潜傷の問題について放射光トポグラフ法で観察した例について解説しました。放射光トポグラフ法についてはこの連載(10)で終了です。ご精読ありがとうございます。