アイシーソルーションズ, LLP

4H-SiCの基板やエピ層中にはフランク型積層欠陥と呼ばれている格子欠陥が含まれています。この積層欠陥がどういう欠陥なのかをこの連載では考察したいと思います。前回はショックレー変位を伴わない純粋なフランク型積層欠陥の構造を考察しました。今回はショックレー変位を伴うフランク型積層欠陥の構造を考察します。この欠陥はバーシェイプ欠陥と呼ばれている欠陥の一種と考えられます。