アイシーソルーションズ, LLP

4H-SiCの基板やエピ層中にはフランク型積層欠陥と呼ばれている格子欠陥が含まれています。この積層欠陥がどういう欠陥なのかをこの連載では考察しています。前回はショックレー変位を伴うフランク型積層欠陥を考察しました。今回は、この積層欠陥の構造と、その縁についているフランク型部分転位の構造を考察します。色々と複雑な特徴を持っていて、解析の際には注意が必要です。