アイシーソルーションズ, LLP

4H-SiCの基板やエピ層中にはフランク型積層欠陥と呼ばれている格子欠陥が含まれています。この積層欠陥がどういう欠陥なのかをこの連載では考察しています。今回は、四面体層１層が余剰に挿入されたフランク型積層欠陥を考察します。余剰層を含み、なおかつ、積層欠陥の縁にあるフランク型積層欠陥のバーガース・ベクトルがショックレー型変位を含まない場合の積層欠陥の構造を考察しました。興味があるかたはご覧ください。