アイシーソルーションズ, LLP

前回まで、4H-SiCの基板やエピ層中に含まれるフランク型積層欠陥と呼ばれている格子欠陥の構造について考察しました。今回は4H-SiCの結晶構造とよく似た2H-GaN中のフランク型積層欠陥の構造を考察します。4H-SiCと2H-GaN中のフランク型積層欠陥の構造を比較することにより、それぞれの特徴を理解することができます。