放射光トポグラフ法の連載(6)を新たにアップロードしました。今回は、SiCの貫通転位のコントラストについての解説です。SiCの研究等で放射光を利用する際には参考になるかもしれません。
〜 イノベイティブな半導体、エレクトロニクス、エネルギー技術のソルーション 〜
Innovative Semiconductors, Electronics, & Energy Solutions
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